設(shè)備故障診斷系統(tǒng)資訊：低功耗集成MEMS傳感器用于汽車(chē)、醫(yī)療和消費(fèi)電子產(chǎn)品

MEMS 技術(shù)的發(fā)展趨勢(shì)主要表現(xiàn)在以下幾個(gè)方面: 一是小型化，同時(shí)降低功耗。設(shè)備故障診斷系統(tǒng)具有緩變信號(hào)（如溫度、壓力、轉(zhuǎn)速、流量等）與動(dòng)態(tài)信號(hào)（如振動(dòng)信號(hào)）的數(shù)據(jù)融合處理功能；具有黑匣子記錄功能；系統(tǒng)滿足車(chē)輛振動(dòng)沖擊環(huán)境下的使用要求。電渦流位移傳感器能靜態(tài)和動(dòng)態(tài)地非接觸、高線性度、高分辨力地測(cè)量被測(cè)金屬導(dǎo)體距探頭表面的距離。它是一種非接觸的線性化計(jì)量工具。振動(dòng)故障診斷監(jiān)測(cè)系統(tǒng)分析范圍20KHz；緩變信號(hào)通道不少于32路，16位精度，動(dòng)態(tài)信號(hào)通道不少于4路，102.4kS/s；系統(tǒng)變攜，可以自帶電源連續(xù)工作4小時(shí)。第二，在小型化的同時(shí)提高精度。第三，整合與智能化的趨勢(shì)。

目前，MEMS傳感器主要應(yīng)用于汽車(chē)、醫(yī)療和消費(fèi)電子領(lǐng)域。

　　應(yīng)用三大領(lǐng)域發(fā)展汽車(chē)、醫(yī)療、消費(fèi)電子

傳感器是汽車(chē)工業(yè)的一個(gè)重要應(yīng)用領(lǐng)域。 每輛車(chē)將有40到數(shù)百個(gè)傳感器，智能汽車(chē)的趨勢(shì)也將推動(dòng)汽車(chē)市場(chǎng)對(duì)傳感器的需求。 其應(yīng)用方向和市場(chǎng)需求包括防抱死制動(dòng)系統(tǒng)（ABS）、電子車(chē)身穩(wěn)定程序（ESP）、電子控制懸架（ECS）、電動(dòng)手制動(dòng)（EPB）、坡道啟動(dòng)輔助（HAS）、胎壓監(jiān)測(cè)（EPMS）、發(fā)動(dòng)機(jī)防抖、車(chē)輛傾角測(cè)量和車(chē)內(nèi)心跳檢測(cè)等，其中，電子車(chē)身穩(wěn)定程序ESP得到了許多MEMS制造商的高度重視。 由于其主動(dòng)防滑功能需要更多的傳感器和**的處理系統(tǒng)，它將推動(dòng)汽車(chē)電子MEMS傳統(tǒng)應(yīng)用市場(chǎng)的需求。

隨著中國(guó)人口老化和醫(yī)療保健系統(tǒng)的發(fā)展，各種遠(yuǎn)程監(jiān)測(cè)和高精度治療設(shè)備將越來(lái)越多地被引進(jìn)。醫(yī)療保健市場(chǎng)已逐漸成為 MEMS 傳感器應(yīng)用的另一大市場(chǎng)。MEMS 具有微尺度的特點(diǎn)，可以代替器官移植、微觀檢測(cè)，主要發(fā)展方向是血管內(nèi)外科和顱內(nèi)外科及細(xì)胞外科。

MEMS傳感器主要用于消費(fèi)電子領(lǐng)域，例如運(yùn)動(dòng)檢測(cè)、導(dǎo)航數(shù)據(jù)補(bǔ)償、游戲人機(jī)接口、電源管理、GPS增強(qiáng)、盲區(qū)消除、速度距離計(jì)數(shù)、其他運(yùn)動(dòng)和醫(yī)療保健應(yīng)用等。這些MEMS技術(shù)極大地改善了用戶體驗(yàn)，帶來(lái)了全新的電子消費(fèi)產(chǎn)品。其中，加速度計(jì)是該市場(chǎng)*大的應(yīng)用產(chǎn)品。近年來(lái)，陀螺儀發(fā)展迅速，已經(jīng)成為僅次于加速度計(jì)的第二大應(yīng)用產(chǎn)品。

　　MEMS麥克風(fēng)*近幾年中國(guó)一直都是保持著一個(gè)很高的增長(zhǎng)率。以智能技術(shù)手機(jī)、平板電腦和超級(jí)本為代表，消費(fèi)企業(yè)電子商務(wù)市場(chǎng)的飛速經(jīng)濟(jì)發(fā)展極大地提高推動(dòng)著MEMS麥克風(fēng)產(chǎn)品的需求和社會(huì)發(fā)展。Yole Developpement的分析研究數(shù)據(jù)結(jié)果顯示：2010年～2016年，MEMS麥克風(fēng)市場(chǎng)環(huán)境總體出貨量將保持23%的水平;據(jù)預(yù)測(cè)，MEMS麥克風(fēng)出貨量2013年將達(dá)到10億顆，2016年將接近20億顆。從具體實(shí)際應(yīng)用服務(wù)市場(chǎng)情況來(lái)看，在MEMS麥克風(fēng)可以應(yīng)用問(wèn)題*為具有廣泛的手機(jī)網(wǎng)絡(luò)終端設(shè)備市場(chǎng)中，2016年MEMS麥克風(fēng)的出貨量將接近**市場(chǎng)需求總量的一半。

除了上述三個(gè)領(lǐng)域外，MEMS在工業(yè)領(lǐng)域也有許多應(yīng)用。