設(shè)備故障診斷系統(tǒng)資訊：無線電波工業(yè)公司研制了一種可檢測 ± 50Kgal的石英無線振動傳感器

無線電產(chǎn)業(yè)開發(fā)了以應(yīng)時晶體為傳感元件的傳感器模塊，可以頻率檢測重力、加速度、傾斜、位移等物理量的微小變化。一體化振動變送器將壓電傳感器和精密測量電路集成在一起，實現(xiàn)了傳統(tǒng)“傳感器+信號調(diào)理器”和“傳感器+監(jiān)測儀表”模式的振動測量系統(tǒng)的功能；適合構(gòu)建經(jīng)濟型高精度振動測量系統(tǒng)。無線振動傳感器基于無線技術(shù)的機器狀態(tài)監(jiān)測，具有振動測量及溫度測量功能，操作簡單，自動指示狀態(tài)報警。應(yīng)用于工業(yè)設(shè)備狀態(tài)管理及監(jiān)測控制系統(tǒng)；適合現(xiàn)場設(shè)備運行和維護人員監(jiān)測設(shè)備狀態(tài)，及時發(fā)現(xiàn)問題，保證設(shè)備正常可靠運行。振動故障診斷監(jiān)測系統(tǒng)分析范圍20KHz；緩變信號通道不少于32路，16位精度，動態(tài)信號通道不少于4路，102.4kS/s；系統(tǒng)變攜，可以自帶電源連續(xù)工作4小時。加速度的*大檢測范圍為50kGal，*小精度為1mGal。與原有的MEMS傳感器相比，加速度檢測范圍和精度提高了一個數(shù)量級，可以在較寬的動態(tài)范圍內(nèi)檢測加速度。適用于地震勘測、資源勘探、結(jié)構(gòu)振動測量、測斜儀、土木測量、平衡調(diào)整\\ u002f機械和車輛速度檢測、人工觸摸、磁場檢測和自動無人機械。

該模塊在安裝了溫度補償用恒溫槽之后的尺寸*大為W100mmD100mmH75mm。重550g。該模塊構(gòu)造方法簡單，能夠可以直接影響無線網(wǎng)絡(luò)傳輸技術(shù)檢測分析數(shù)據(jù)，而且我們不需要將電壓轉(zhuǎn)換成頻率的裝置，因此，不論單個模塊的成本管理還是裝入測量、勘探信息系統(tǒng)后的總體設(shè)計成本問題都得以降低。對于企業(yè)設(shè)置和拆除工作，還有一些利于減輕經(jīng)濟負擔和縮短時間。

與其他傳感器材料相比，石英晶體具有彈性好（約為硅的1600倍）、抗沖擊性好、探測范圍寬等優(yōu)點。 然而，由于石英晶體的機電耦合系數(shù)小于其它材料的機電耦合系數(shù)，因此對于傳感器和元件需要高度穩(wěn)定的微制造技術(shù)，并且對于檢測信號需要頻率穩(wěn)定技術(shù)。 作為石英晶體器件的綜合制造商，公司開發(fā)的這些技術(shù)的開發(fā)得到了進一步的改進。

為了檢測微小的變化，技術(shù)人員將傳感器組件做成懸臂梁的形狀，電極與自由端相對電極之間距離的變化首先轉(zhuǎn)換成靜電容量的變化，然后轉(zhuǎn)換成頻率。這種材料由***的人造石英晶體制成，這是一種 AT 切割的石英晶體振蕩器，由于溫度的變化，頻率變化很小。在樣品價格方面，溫度補償模塊的參考價格為每個15萬日元。